三坐标测量仪(简称CMM )起源于20世纪60年代。1956年，英国Ferranti公司开发了第一台三坐标测量仪，如图所示。 经过半个多世纪的发展，目前，CMM已广泛用于机械制造业、汽车工业、电子工业、航空航天工业和国防工业等各部门，成为现代工业检测和质量控制不可缺少的万能测量设备。

三坐标测量仪的原理:由三个相互垂直的运动轴X、Y、Z建立起三维空间坐标系，测头的一切运动都在这个坐标系中进行测头的运动轨迹由测球中心点来表示。测量时，把被测零件放在工作台上，测头与零件表面接触，三坐标测量仪的检测系统可以随时给出测球中心点在坐标系中的精确位置。当测球沿着工件的几何型面移动时，就可以得出被测几何型面上各点的坐标值。将这些数据送人计算机，通过相应的软件进行处理，就可以精确地计算出被测工件的几何尺寸、形状和位置误差等。