三坐标测量仪的硬件组成包括电气系统、测头、三坐标测量仪主体等。
(1)电气系统包括电气控制系统(测量仪控制部分)、计算机硬件、测量软件(包括控制软件和数据处理软件等)。
(2)测头测头即三维测量传感器，它可以在三个方向上感受瞄准信号和微小位移。三坐标测量仪是用测头来拾取信号的，它的准确度和测量效率与测头密切相关，下图所示为各种测量接触头。
(3)三坐标测量仪主体 主要由底座、测量工作台、立柱等部分组成。
完整的三坐标测量仪组成如图所示。
知识点词条：三坐标测量仪的硬件组成
